 |
|
|---|---|
| 主な特徴 | |
■ 基板の投入は縦型になります。 |
|
■ 基板が左右に揺動してエッチングを行います。 |
 |
|
|---|---|
| 主な特徴 | |
■ 上の薬液噴射ノズルが揺動し、大型のエッチング装置同様の結果が得られます。 |
|
■ 温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付きのため、多用途に御使用出来ます。 |
|
■ エッチング液・レジスト・剥離液などの実験や試験に御使用出来ます。 |
|
■ 本体の材質は PVC(ポリ塩化ビニール)を使用。酸やアルカリに耐性があります。 |
|
| 主な仕様 | |
■ 装置外寸法 |
：740(W)×670(D)×700(H) |
■ 制御盤寸法 |
：450(W)×250(D)×400(H) |
■ 薬液槽容量 |
：5ℓ～(仕様により変動) |
■ 液温範囲 |
：50°C以下 |
■ 標準基板寸法 |
：160mm×160mm |
■ 使用電源 |
：AC100V |
■ スプレーノズル |
：上6個・スプレー圧力計付き(最大 0.15MPa) |
■ 安全装置 |
：非常停止ボタン、インターロック(オプション) |
■ 温度自動制御付き(ヒーターおよび水冷による) |
|
■ スプレー時間制御タイマー付き |
|
■ スプレーノズル揺動速度調整付き |
|
■ ポンプインバーター付 |
|
※その他、オプション等の御相談承ります。 |
|
 |
|
|---|---|
| 主な特徴 | |
■ 搬送型(自動運転:往復 手動運転:固定)で、装置全面より基板投入・取出しが可能です。 |
|
■ 基板投入、スプレー、基板取出しまでの作業を自動で行えます。 |
|
■ 温度の自動制御・スプレー時間制御タイマー付きのため、多用途に御使用出来ます。 |
|
■ エッチング液・レジスト・剥離液などの実験や試験に御使用出来ます。 |
|
■ 本体の材質は PVC(ポリ塩化ビニール)を使用。酸やアルカリに耐性があります。 |
|
| 主な仕様 | |
■ 装置外寸法 |
：740(W)×670(D)×750(H) ※参考寸法(要相談) |
■ 制御盤寸法 |
：450(W)×300(D)×550(H) |
■ 薬液槽容量 |
：5ℓ～(仕様により変動) |
■ 液温範囲 |
：50°C以下 |
■ 標準基板寸法 |
：160mm×160mm |
■ 使用電源 |
：AC100V |
■ スプレーノズル |
：12個(上下各6個)・スプレー圧力計付き(最大0.15MPa) |
■ 安全装置 |
：非常停止ボタン、インターロック(オプション) |
■ 温度自動制御付き(ヒーターおよび水冷による) |
|
■ スプレー時間制御タイマー付き |
|
■ 搬送速度調整付き |
|
■ ポンプインバーター付 |
|
※その他、オプション等の御相談承ります。 |
|
 |
|
|---|---|
| 主な特徴 | |
■ ドラフトチャンバー・排ガス処理装置により、作業の安全性が高められます。 |
|
■ 作業の効率化が図れます。 |
|
■ 排ガス処理装置によって、発生したガスを外気にそのまま放出出来ます。 |
|
| 主な仕様 | |
■ 装置外寸法 |
：1600(W)×1000(D)×2100(H) ※参考寸法（要相談） |
■ 排ガス処理装置外寸法 |
：600(W)×800(D)×2100(H) ※参考寸法（要相談） |
■ 薬液槽容量 |
：30ℓ～(仕様により変動) |
■ 循環タンク容量 |
：80ℓ～(仕様により変動) |
■ 液温範囲 |
：50°C以下 |
■ 標準基板寸法 |
：～300mm×300mm |
■ 使用電源 |
：AC100V |
■ 安全装置 |
：非常停止ボタン、インターロック(オプション) |
■ 温度自動制御付き(ヒーターおよび水冷による) |
|
■ スプレー時間制御タイマー付き |
|
■ スプレーノズル揺動速度調整付き |
|
■ ポンプインバーター付 |
|
※その他、オプション等の御相談承ります。 |
|